本系統(tǒng)帶有一臺(tái)精密的臭氧發(fā)生器,用來(lái)對(duì)臭氧分析儀做校準(zhǔn)及氮氧化物(NO)的滴定,以產(chǎn)生二氧化氮(NO2)。臭氧源適用作一個(gè)轉(zhuǎn)換標(biāo)準(zhǔn),從而無(wú)需用其他臭氧轉(zhuǎn)換標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢查和校準(zhǔn)。
可選的內(nèi)置紫外吸收光度計(jì)是一臺(tái)完整的紫外臭氧分析儀,它可獨(dú)立使用以監(jiān)測(cè)產(chǎn)生的臭氧或作為臭氧發(fā)生器繼動(dòng)控制回路的一部分。
可選的內(nèi)置滲透爐可有效地用于產(chǎn)生精確濃度的氣體去校準(zhǔn)大范圍的氣體分析儀。大容量的爐體適用于許多型號(hào)和尺寸的滲透裝置。一個(gè)內(nèi)置的干凈空氣輸送通道,精密質(zhì)量流量控制器和溫度控制器保證了氣體發(fā)生過(guò)程的高精確度。
技術(shù)參數(shù):
氣動(dòng)部分:
流量精度:滿刻度的±1.0%
流量可重復(fù)性:滿刻度的±0.15%
流量線性:滿刻度±0.5% 稀釋氣:
質(zhì)量流量控制器量程:0-10SLPM(可選0-20SLPM)
輸入壓力:20—35psig 接口1(可選接口2)
源氣: 質(zhì)量流量控制器量程0—100SCCM(可選0-50,0-200,0-500SCCM,0-1SLM) 可選第二源質(zhì)量流量控制器
輸入壓力:20-35psig 3個(gè)氣瓶輸入接口(可選3個(gè)附加口)
源集氣管排氣口 可選內(nèi)部滲透爐 可用流量控制器選擇稀釋比率變化,加上第二個(gè)源流量控制器用于更大動(dòng)態(tài)量程 電磁閥用于稀釋器,源和排氣口 8個(gè)校準(zhǔn)氣體輸出口 可選聚四氟乙烯電磁閥 聚四氟乙烯氣相滴定反應(yīng)室符合EPA標(biāo)準(zhǔn) 95%設(shè)置點(diǎn)完成少于60秒 接觸氣體的材料均為不銹鋼,聚四氟乙烯TeflonTM、PEEKTM或HalarTM;所有的套接口材料使用VitonTM或CalrezTM和其他相似材料密封。
可選內(nèi)部滲透爐: 玻璃爐燃燒室長(zhǎng)13.2cm, 內(nèi)徑3.02 cm, 容積94 cm3, 開(kāi)放直徑2.54 cm 栽氣預(yù)加熱器 爐操作溫度保持在設(shè)置點(diǎn)3℃,高于環(huán)境60℃的+0.1℃ 預(yù)熱時(shí)間少于30分鐘
100SCCM的標(biāo)定運(yùn)載流量保持在使用精密質(zhì)量流量控制器的1%之內(nèi) 帶入口過(guò)濾器的內(nèi)部供氣通道,高效接口過(guò)濾器和污染滌除氣罐