如果在建立樣本或工件的校準或測量前SJ-400已經安裝了,必須實行“向上/向下測量(調整驅動/探測單元的高度)以及”水平測量(調整驅動/探測單元的斜度)。
4.2.1 向上/向下測量
實行向上/向下測量時,使用高度/傾斜調整單位和簡單的立柱(可選).
■ 用高度/傾斜調整單位進行向上/向下測量
通過旋轉在高度//傾斜調整單位上的向上/向下旋鈕,調節驅動/探測裝置的高度以便觸頭適當地接觸樣品或工件測量表面。觸針適當接觸后檢查主屏幕上電平指示儀。
■ 用簡單的立柱進行向上/向下測量
使用簡單的立柱可以調節驅動/探測裝置向上/向下測量。
4.2.2 零點校準
■ 校零程序
第二個主屏幕或DAT measure屏幕二者中任一個都可以實行校零。
假設當前觸針指向零點,實行二個校零程序中的任一個都允許SJ-400實行測量和計算。
不過,校零的實行范圍限制觸針物理位置在±100um范圍內。如果觸針物理位置超出±100um范圍實行校零,其結果是錯的。在這種情況下,要重新進行校零以使偏離物理位置的觸針回到±100um范圍內。 4.2.3 水平測量
針對水平測量驅動/探測裝置,DAT功能調整程序和目視調整程序均是有效的。
DAT功能是一個“水平測量支持功能”。使用這個功能可以精確地水平測量驅動/探測裝置。如果不需要精確水平測量,可以使用目視調整程序。
■ DAT功能
水平測量運行,視覺上做到精細調節可能有困難如驅動/探測裝置極um向上/向下的移動。因此,SJ-400配置DAT功能,它將顯示帶數字觸摸屏上向上/向下移動。
在SJ-400屏幕上顯示向上/向下移動情況,如高度-傾斜調整裝置傾斜按鈕的轉動數字或水平工作臺的調整數據. Tip提示:使用水平工作臺時,簡易的柱體是必須的。關于如何使用柱體的資料,請參考10.1節“簡易柱體”。
■ 帶DAT功能的傾斜調整
在觸摸屏的主頁上使用DAT功能實行DAT測量,以及根據測量結果調節高度-傾斜調整裝置或水平工作臺,方法如下:
1. 在主頁上觸摸“DAT”按鈕,顯示DAT測量屏幕。
2. 如果高度-傾斜調整裝置是用水平測量,打開屏幕通過觸摸“傾斜調整數量裝置“按鈕顯示傾斜旋鈕的轉動
數量。如果使用水平工作臺測量,進入程序3。
3. 如果使用水平工作臺,通過按“ZERO/ABS“按鈕進行零位設定計量顯示器數值,如果使用高度-傾斜調整
單元,進入程序4。
4. 在顯示裝置上按“START/STOP”鍵。實行DAT測量。水平測量調整數量在屏幕上顯示出來。
5. 為了防止探測器或觸針的損壞,在調整傾斜前,將觸針從工件上移開。
高度-傾斜裝置:通過順時針轉動傾斜按鈕來升高驅動/探器裝置。