引言

    許多工業廠房對廠內的空氣潔凈度有一個很

高的要求，潔凈廠房的潔凈級別常以單位體積的

空氣中最大允許的顆粒數即粒子計數濃度來衡

量。舊的美國聯邦標準209E“潔凈室及潔凈區

中空氣懸浮粒子潔凈度級別”[1]已經在2001年

11月29日被新的國際標準IS014644-1“潔凈室

及相關受控環境，第一部分:空氣潔凈度等級”

和IS014644-2“潔凈室及相關受控環境，第二部

分:認證IS014644-1相符性的測試和監測技術

條件”[z]所取代。為了和國際標準盡快接軌，

我國根據ISO 14644制定了新的國家標準

GB50073 -2001“潔凈廠房設計規范”[3]，此規

范已在2002年1月開始執行。在國際標準

IS014644和國家標準GB500073 -2001中潔凈室

的潔凈度劃分為9級。

    光散射式塵埃粒子計數器是用來測量空氣潔

凈度的重要儀器。在安裝好的潔凈室的實際測量

中經常發現，使用不同的粒子計數器得到的測量

結果相差很大，有時差值差到一個數量級。這種

測量偏差直接影響潔凈室環境的潔凈級別的最終