1 范圍
ISO 14644 的本部分是根據(jù)空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中空氣潔
凈度的等級。只有在 0.1μm-0.5μm 的閾值(低于閾值)粒徑范圍內(nèi)呈累積分布的粒子群體
才可供分級用。
ISO 14644 的本部分不包含 0.1μm-0.5μm 規(guī)定粒徑范圍以外的粒子群體的分級。超微
粒子(<0.1μm )和大粒子(>0.5μm)可分別以 U 描述符和 M 描述符來量化粒子群體。
ISO 14644 的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學(xué)性、放射性或生存性。
注 粒徑遵紀(jì)守法增范圍內(nèi)粒子濃度的實際分布情況通常是不可預(yù)測的,并且是隨著時間而變化的。
2 定義
下述定義適用于 ISO 14644 的本部分
2. 1 通則
2. 1. 1
潔凈室
空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設(shè)和使用方式要盡可能減少室內(nèi)引入、產(chǎn)生和
滯留粒子,室內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。
2. 1. 2
潔凈區(qū)
懸浮粒子濃度受控的限定空間。空間的建設(shè)和使用方式要盡可能減少區(qū)內(nèi)引入、產(chǎn)生和
滯留粒子,空間內(nèi)其它相關(guān)參數(shù)如溫度、濕度和壓力按要求進(jìn)行控制。
注:該區(qū)可以是開放式或是密閉式,可以位于或不位于潔凈室內(nèi)。
2. 1. 3
設(shè)施
潔凈室或一個或多個潔凈區(qū),連同所有相關(guān)的構(gòu)筑物、空氣處理系統(tǒng)、動力和公用設(shè)施。
2. 1. 4
分級
適用于一個的懸浮粒子潔凈度等級(或規(guī)定或確定該等級的過程),以 ISO 等級 N 來表
示,它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度(以 pc/m3 空氣計)。
注 1 此濃度用 3.2 中的公式(1)確定。
注 2 按照本國際標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行分級,限定在 ISO 1 級至 ISO 9 級。