1 范圍

ISO 14644 的本部分是根據空氣中懸浮粒子濃度來劃分潔凈室及相關受控環境中空氣潔

凈度的等級。只有在 0.1μm-0.5μm 的閾值（低于閾值）粒徑范圍內呈累積分布的粒子群體

才可供分級用。

ISO 14644 的本部分不包含 0.1μm-0.5μm 規定粒徑范圍以外的粒子群體的分級。超微

粒子（＜0.1μm ）和大粒子（＞0.5μm）可分別以 U 描述符和 M 描述符來量化粒子群體。

ISO 14644 的本部分不能用于表征懸浮粒子的物理性、化學性、放射性或生存性。

注 粒徑遵紀守法增范圍內粒子濃度的實際分布情況通常是不可預測的，并且是隨著時間而變化的。

2 定義

下述定義適用于 ISO 14644 的本部分

2. 1 通則

2. 1. 1

潔凈室

空氣懸浮粒子濃度受控的房間、房間的建設和使用方式要盡可能減少室內引入、產生和

滯留粒子，室內其它相關參數如溫度、濕度和壓力按要求進行控制。

2. 1. 2

潔凈區

懸浮粒子濃度受控的限定空間?？臻g的建設和使用方式要盡可能減少區內引入、產生和

滯留粒子，空間內其它相關參數如溫度、濕度和壓力按要求進行控制。

注：該區可以是開放式或是密閉式，可以位于或不位于潔凈室內。

2. 1. 3

設施

潔凈室或一個或多個潔凈區，連同所有相關的構筑物、空氣處理系統、動力和公用設施。

2. 1. 4

分級

適用于一個的懸浮粒子潔凈度等級（或規定或確定該等級的過程），以 ISO 等級 N 來表

示，它表示所考慮的粒徑的最大允許濃度（以 pc/m3 空氣計）。

注 1 此濃度用 3.2 中的公式（1）確定。

注 2 按照本國際標準進行分級，限定在 ISO 1 級至 ISO 9 級。