高效過濾器濾紙電鏡照片如圖1 所示[ 2] 。由玻璃纖維組成的網格雜亂無章, 大小不同, 但可見單層網格長向可達30μm。1高效濾紙背風側電鏡照片(放大2000倍)所謂漏, 即應是纖維網格因擦、劃、扎等將網格撕開一個孔口, 形成孔口出流, 其流量遠大于通過正常網格的流量??卓诔隽髁髁縌0 由經典的式(1)給出:Q0 =μA 2ΔPρ (1)式中, A為孔口面積, A=0.78d20;d0 為孔口直徑;ΔP為過濾器前后(孔前后)壓差, 按檢漏時初阻力計,取200Pa;ρ空氣密度, 1.2kg/m3 ;μ為流量系數, 按式(2)進行算:μ=εφ (2)其中, ε為孔口流速收縮系數, 對于孔口周邊為開闊的過濾面積按流體力學定義, 應為完全收縮, ε最關于流速系數φ, 理論值為0.82[ 3] , 最大可達到1, 實驗最大值為0.97, 擴張形孔口(θ=5°~ 7°,見圖2)為0.45[ 4] 。對于復雜的縫、孔, 實驗最小平均值為0.29[ 5] , 對于漏孔很小, 只比單層纖維網格大幾倍的情況, 其孔的邊緣纖維凌亂情況的相對影響變大, 即阻力變大, 流量系數更小。假定以大約纖維網格的3 ~ 4倍為界, 相當于0.1mm漏孔為界(這純屬設定), ≥0.1mm的孔, μ按通常采用的即最大的系數取值, μ=εφ=0.62 ×0.97≈0.6;當<0.1mm的孔按最小的φ=0.29計算, 則μ=εφ=0.18。小, 取0.62;φ為流速系數。(1)透過率法得出的是否漏泄的透過率與采樣量有關, 用小采樣量時可能為漏, 用大采樣量時可能為不漏, 而漏孔法以檢測容積為準則無此問題;(2)漏孔法易判為漏, 而透過率法有時判為不漏;(3)按ISO透過率法漏泄與否, 與上游濃度無關, 不論上游濃度多少, 各孔徑采樣處透過率都相同, 即N0 Q0 /N0 。這表明漏泄只和漏孔大小有關, 和高效過濾器固有透過率無關, 因此不論對何種過濾器用漏孔法將更直接反映漏泄程度;4)對于當前最高效率的過濾器, 按ISO漏泄標準, 則有0.05mm的漏孔, 用28.3L/min采樣, ISO的透過率判定為不漏, 而0.1mm漏就能判定為漏,所以若以ISO標準為準, 則應將0.1mm漏孔作為超高效過濾器漏孔的起點。而對于0.0023%的普通高效過濾器, 0.1mm漏孔用2.83L/min或28.3L/min采樣, 用ISO漏泄標準判定, 都為不漏, 而0.2mm漏孔時就可判定為漏, 因此, 把0.2mm漏孔為普通高效過濾器漏孔的起。結論(1)對超高效過濾器0.1mm漏孔按ISO標準才可能表現為漏, 普通高效過濾器0.2mm漏孔才表現為漏, 即以此作為兩種過濾器漏孔極限, 可不再考慮更小的漏孔;(2)漏孔法既可以定性檢漏, 也可以定量檢漏。它只和漏孔大小有關, 和透過率、采樣率均無關;而透過率法則和透過率、采樣率有關。由于漏孔法可以用大氣塵, 為現場檢漏帶來方便;(3)漏孔法比透過率法可以判斷出漏的漏孔更小, 即范圍更廣;(4)不論是透過率法還是漏孔法, 都必須在采樣口掃描到不少于1粒才可以作出判斷。為此對于普通高效過濾器, 需要≥2200粒/L的上游濃度, 對于超高效過濾器需要≥5800粒/L的上游濃度;(5)對≥0.5μm微粒有不大于99.999%效率的高效過濾器, 兩種方法的上游濃度均不宜>105粒/L, 否則在此條件下, 各處隨時都可以采到1粒/L, 掃描時將增加靜止檢漏的工作量。(6)透過率法也不必發生人工塵, 當大氣塵合適時, 大氣塵也可滿足要求, 但必須隨時測出上、下游濃度才能計算;漏孔法中的定性檢漏完全適用大氣塵, 而只要測出下游濃度, 上游濃度只要監測一下, 這就大大節省了工作量。如果也同時測出上游濃度, 則也可以計算透過率, 成為定量檢漏;(6)當掃描檢漏發現非“ 0”讀數時, 可能有漏,要求停在原處采樣1min, 讀數≥3粒, 則判定此處為漏。