科技的進(jìn)步、芯片的廣泛應(yīng)用、醫(yī)學(xué)與藥物的高速發(fā)展及生物工程的發(fā)展，對(duì)潔凈環(huán)境提出了更嚴(yán)格的要求［１］。對(duì)于潔受控環(huán)境而言，最關(guān)鍵的環(huán)境保障設(shè)施就是送風(fēng)系統(tǒng)的最后一級(jí)空氣凈化置———高效及超高效過濾器。因此，對(duì)于這些高風(fēng)險(xiǎn)控制要求的潔凈室用戶來說，不僅需要保證選擇合適的過濾器產(chǎn)品，還必須保證在過濾器安裝后，不論是過濾器本身，還是過濾器的安裝邊框都應(yīng)完好，不存在局部漏泄缺陷。所以在高效過濾器安裝后，要對(duì)其進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢漏測(cè)試。對(duì)送、排（回）風(fēng)過濾器，應(yīng)采用掃描法在過濾器與安裝框架接觸面、過濾器邊框與濾紙接觸面以及其全部濾芯出風(fēng)面上進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)檢漏［２］。近年來，基于粒子計(jì)數(shù)測(cè)試的高效過濾器掃描檢漏測(cè)試得到了越來越廣泛的應(yīng)用。但是國(guó)內(nèi)外的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范中，對(duì)于掃描檢漏時(shí)的上游濃度和測(cè)試粒徑的要求并沒有統(tǒng)一的規(guī)定。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)ＧＢ　５０５９１—２０１０《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》根據(jù)國(guó)內(nèi)研究成果［３－４］規(guī)定普通高效過濾器掃描檢漏上游的最小濃度為４　０００粒／Ｌ，并且建議首選大氣塵，測(cè)試粒徑≥０．５μｍ［２］；國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ＩＳＯ　１４６４４－３：２００５中規(guī)定，掃描檢漏的測(cè)試粒徑為０．１～０．５μｍ，但沒有規(guī)定上游濃度的最小值［５］；歐洲標(biāo)準(zhǔn)ＥＮ　１８２２－４：２００９《Ｈｉｇｈ　ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　ａｉｒｆｉｌｔｅｒｓ（ＨＥＰＡ　ａｎｄ　ＵＬＰＡ）—Ｐａｒｔ　４：Ｄｅｔｅｒｍｉｎｉｎｇｌｅａｋａｇｅ　ｏｆ　ｆｉｔｅｒ　ｅｌｅｍｅｎｔ（ｓｃａｎ　ｍｅｔｈｏｄ）》建議使用的測(cè)試粒徑為ＭＰＰＳ（ｍｏｓｔ　ｐｅｎｅｔｒａｔｅｐａｒｔｉｃｌｅ　ｓｉｚｅ，最穿透粒徑，一般為對(duì)過濾元件進(jìn)行粒徑效率測(cè)試時(shí)，最低過濾效率所對(duì)應(yīng)的粒徑）的２／３～１．５倍，并規(guī)定上游濃度不超過１０１０粒／Ｌ［６］；美國(guó)標(biāo)準(zhǔn)ＩＥＳＴ－ＲＰＣＣ０３４．２《ＨＥＰＡ　ｆｉｌｔｅｒ　ａｎｄ　ｉｎ－ｐｌａｃｅ　ｌｅａｋ　ｔｅｓｔｉｎｇｓｔａｎｄａｒｄ》對(duì)測(cè)試粒徑?jīng)]有要求，但是要求上游濃度上限為１０５ 粒／（２８．３Ｌ）（無稀釋器）及５×１０７ 粒／（２８．３Ｌ）（有稀釋器）［７］。由于各種標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范的要求不同，在實(shí)際檢測(cè)過程中，選用不同的測(cè)試粒徑及過濾器上游濃度，是否會(huì)影響掃描檢漏的精度，是現(xiàn)場(chǎng)掃描檢漏中亟待解決的一個(gè)問題。該問題已有相關(guān)的理論分析［１，４］。本文通過搭建計(jì)數(shù)法掃描檢漏測(cè)試試驗(yàn)臺(tái)，測(cè)試了過濾器在不同上游濃度、不同尺寸粒徑情況下的局部透過率，并基于試驗(yàn)結(jié)果和掃描檢漏影響因素的理論分析結(jié)果，給出了過濾器掃描檢漏測(cè)試的若干建議。１　掃描檢漏試驗(yàn)臺(tái)簡(jiǎn)介試驗(yàn)臺(tái)主要由風(fēng)機(jī)及風(fēng)道系統(tǒng)、氣溶膠發(fā)生器與檢測(cè)裝置組成，見圖１。圖２為與氣溶膠發(fā)生器連的可在風(fēng)管內(nèi)均勻發(fā)生氣溶膠的四口均勻發(fā)生裝置示意圖。過濾器處理后，通過氣泵進(jìn)入Ｌａｓｋｉｎ噴嘴發(fā)生氣溶膠（成分為聚α烯烴（ＰＡＯ）），氣溶膠由噴霧置出口噴出進(jìn)入圖２所示的氣溶膠四口均勻發(fā)生裝置，通過閥３和閥４可調(diào)節(jié)發(fā)生氣溶膠的濃度。掃描檢漏的測(cè)試裝置為ＭｅｔＯｎｅ２１００Ｃ激光粒子計(jì)數(shù)器，其測(cè)試粒徑范圍為０．１～１．０μｍ，包括０．１，０．２，０．３，０．５，０．７，１．０μｍ六擋，采樣流量為２８．３Ｌ／ｍｉｎ。為模擬穩(wěn)定的漏泄，用固定規(guī)格的醫(yī)療器械用不銹鋼針管貫穿濾紙，并將其固定在高效過濾器的濾紙上，見圖４。本試驗(yàn)采用ＷｕＧｅ６００×６００×９０－Ｈ１３型無隔板高效過濾器，額定流量為１　０００ｍ３／ｈ。