科技的進步、芯片的廣泛應用、醫學與藥物的高速發展及生物工程的發展，對潔凈環境提出了更嚴格的要求［１］。對于潔受控環境而言，最關鍵的環境保障設施就是送風系統的最后一級空氣凈化置———高效及超高效過濾器。因此，對于這些高風險控制要求的潔凈室用戶來說，不僅需要保證選擇合適的過濾器產品，還必須保證在過濾器安裝后，不論是過濾器本身，還是過濾器的安裝邊框都應完好，不存在局部漏泄缺陷。所以在高效過濾器安裝后，要對其進行現場檢漏測試。對送、排（回）風過濾器，應采用掃描法在過濾器與安裝框架接觸面、過濾器邊框與濾紙接觸面以及其全部濾芯出風面上進行現場檢漏［２］。近年來，基于粒子計數測試的高效過濾器掃描檢漏測試得到了越來越廣泛的應用。但是國內外的標準和規范中，對于掃描檢漏時的上游濃度和測試粒徑的要求并沒有統一的規定。國家標準ＧＢ　５０５９１—２０１０《潔凈室施工及驗收規范》根據國內研究成果［３－４］規定普通高效過濾器掃描檢漏上游的最小濃度為４　０００粒／Ｌ，并且建議首選大氣塵，測試粒徑≥０．５μｍ［２］；國際標準ＩＳＯ　１４６４４－３：２００５中規定，掃描檢漏的測試粒徑為０．１～０．５μｍ，但沒有規定上游濃度的最小值［５］；歐洲標準ＥＮ　１８２２－４：２００９《Ｈｉｇｈ　ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ　ａｉｒｆｉｌｔｅｒｓ（ＨＥＰＡ　ａｎｄ　ＵＬＰＡ）—Ｐａｒｔ　４：Ｄｅｔｅｒｍｉｎｉｎｇｌｅａｋａｇｅ　ｏｆ　ｆｉｔｅｒ　ｅｌｅｍｅｎｔ（ｓｃａｎ　ｍｅｔｈｏｄ）》建議使用的測試粒徑為ＭＰＰＳ（ｍｏｓｔ　ｐｅｎｅｔｒａｔｅｐａｒｔｉｃｌｅ　ｓｉｚｅ，最穿透粒徑，一般為對過濾元件進行粒徑效率測試時，最低過濾效率所對應的粒徑）的２／３～１．５倍，并規定上游濃度不超過１０１０粒／Ｌ［６］；美國標準ＩＥＳＴ－ＲＰＣＣ０３４．２《ＨＥＰＡ　ｆｉｌｔｅｒ　ａｎｄ　ｉｎ－ｐｌａｃｅ　ｌｅａｋ　ｔｅｓｔｉｎｇｓｔａｎｄａｒｄ》對測試粒徑沒有要求，但是要求上游濃度上限為１０５ 粒／（２８．３Ｌ）（無稀釋器）及５×１０７ 粒／（２８．３Ｌ）（有稀釋器）［７］。由于各種標準規范的要求不同，在實際檢測過程中，選用不同的測試粒徑及過濾器上游濃度，是否會影響掃描檢漏的精度，是現場掃描檢漏中亟待解決的一個問題。該問題已有相關的理論分析［１，４］。本文通過搭建計數法掃描檢漏測試試驗臺，測試了過濾器在不同上游濃度、不同尺寸粒徑情況下的局部透過率，并基于試驗結果和掃描檢漏影響因素的理論分析結果，給出了過濾器掃描檢漏測試的若干建議。１　掃描檢漏試驗臺簡介試驗臺主要由風機及風道系統、氣溶膠發生器與檢測裝置組成，見圖１。圖２為與氣溶膠發生器連的可在風管內均勻發生氣溶膠的四口均勻發生裝置示意圖。過濾器處理后，通過氣泵進入Ｌａｓｋｉｎ噴嘴發生氣溶膠（成分為聚α烯烴（ＰＡＯ）），氣溶膠由噴霧置出口噴出進入圖２所示的氣溶膠四口均勻發生裝置，通過閥３和閥４可調節發生氣溶膠的濃度。掃描檢漏的測試裝置為ＭｅｔＯｎｅ２１００Ｃ激光粒子計數器，其測試粒徑范圍為０．１～１．０μｍ，包括０．１，０．２，０．３，０．５，０．７，１．０μｍ六擋，采樣流量為２８．３Ｌ／ｍｉｎ。為模擬穩定的漏泄，用固定規格的醫療器械用不銹鋼針管貫穿濾紙，并將其固定在高效過濾器的濾紙上，見圖４。本試驗采用ＷｕＧｅ６００×６００×９０－Ｈ１３型無隔板高效過濾器，額定流量為１　０００ｍ３／ｈ。