科技的進步、芯片的廣泛應用、醫學與藥物的高速發展及生物工程的發展,對潔凈環境提出了更嚴格的要求[1]。對于潔凈受控環境而言,最關鍵的環境保障設施就是送風系統的最后一級空氣凈化裝置———高效及超高效過濾器。因此,對于這些高風險控制要求的潔凈室用戶來說,不僅需要保證選擇合適的過濾器產品,還必須保證在過濾器安裝后,不論是過濾器本身,還是過濾器的安裝邊框都應完好,不存在局部漏泄缺陷。所以在高效過濾器安裝后,要對其進行現場檢漏測試。對送、排(回)風高效過濾器,應采用掃描法在過濾器與安裝框架接觸面、過濾器邊框與濾紙接觸面以及其全部濾芯出風面上進行現場檢漏[2]。近年來,基于粒子計數測試的高效過濾器掃描檢漏測試得到了越來越廣泛的應用。但是國內外的標準和規范中,對于掃描檢漏時的上游濃度和測試粒徑的要求并沒有統一的規定。國家標準GB 50591—2010《潔凈室施工及收規范》根據國內研究成果[3-4]規定普通高效過濾議首選大氣塵,測試粒徑≥0.5μm[2];國際標準ISO 14644-3:2005中規定,掃描檢漏的測試粒徑為0.1~0.5μm,但沒有規定上游濃度的最小值[5];歐洲標準EN 1822-4:2009《High efficiency airfilters(HEPA and ULPA)—Part 4:Determiningleakage of filter element(scn method)》建議使用的測試粒徑為MPPS(most penetrate particle size,最易穿透粒徑,一般為對過濾元件進行粒徑效率測試時,最低過濾效率所對應的粒徑)的2/3~1.5倍,并規定上游濃度不超過1010粒/L[6];美國標準IEST-RPCC034.2《HEPA filter and in-place leak testingstandard》對測試粒徑沒有要求,但是要求上游濃度上限為105 粒/(28.3L)(無稀釋器)及5×107 粒/(28.3L)(有稀釋器)[7]。由于各種標準規的要求不同,在實際檢測過程中,選用不同的測試粒徑及過濾器上游濃度,是否會影響掃描檢漏的精度,是現場掃描檢漏中亟待解決的一個問題。該問題已有相關的理論分析[1,4]。本文通過搭建計數法掃描檢漏測試試驗臺,測試了過濾器在不同上游濃度、不同尺寸粒徑情況下的局部透過率,并基于試驗結果和掃描檢漏本文針對國內外標準對掃描檢漏的上游發塵濃度和控制粒徑要求不一致的情況,通過搭建試驗臺,測試了過濾器上游氣溶膠濃度變化時,不同漏孔、不同粒徑下的局部過濾效率。試驗結果表明,對于相同漏孔,不同氣溶膠濃度和測試粒徑下的局部過濾效率測試結果基本一致,氣溶膠濃度和測試粒徑對過濾器檢漏測試無影響,與相關的理論分析結果吻合。在實際掃描檢漏過程中,可根據檢測的實際情況(濃度及所期望的掃描速度等)選擇所需的測試粒徑,同時應盡量選擇大粒徑粒子進行檢漏測試,以避免采樣流量不同對測試結果產生影響影響因素的理論分析結果,給出了過濾器掃描檢測試的若干建議。